白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)與臺階儀的區(qū)別
2023-05-22 表面形貌即為表面微觀幾何形態(tài),不僅對接觸零件的機(jī)械和物理特性起著決定作用,而且對一些非接觸零件的光學(xué)和外部特性影響也很大。所以對表面形貌的精準(zhǔn)測量能正確地識別出加工過程的變化和缺陷,對研究表面幾何特性與使用性能的關(guān)系、控制和改進(jìn)加工方法等都有著顯著的意義。隨著微電子技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、傳感技術(shù)、信號分析和處理技術(shù)等飛速發(fā)展,對表面形貌測量精度不斷提高,從微米尺度進(jìn)入了納米甚至是亞納米尺度。臺階儀與白光干涉儀,兩者雖然都是表面微觀輪廓測量利器,但還是有所不同。1、測量方...共聚焦顯微鏡在半導(dǎo)體行業(yè),精準(zhǔn)測量晶圓激光鐳射槽的三維輪廓
2023-05-04 半導(dǎo)體大規(guī)模生產(chǎn)過程中需要在晶圓上沉積集成電路芯片,然后再分割成各個(gè)單元,最后再進(jìn)行封裝和焊接,因此對晶圓切割槽尺寸進(jìn)行精準(zhǔn)控制和測量,是生產(chǎn)工藝中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。共聚焦顯微鏡能應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝,能夠?qū)哂袕?fù)雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進(jìn)行非接觸式掃描并重建三維形貌。共聚焦顯微鏡具有高光學(xué)分辨率,通過清晰的成像系統(tǒng)能夠細(xì)致觀察到晶圓表面的特征情況,例如:觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷。電動(dòng)塔臺可以自動(dòng)切換不同的物鏡倍率,軟件自動(dòng)捕捉特征邊緣進(jìn)行二維尺寸快...光學(xué)輪廓儀在操作過程中,需要注意以下幾點(diǎn)
2023-04-23 光學(xué)輪廓儀是一種測量物體表面形狀的工具。它通過掃描物體表面,并記錄接收到的反射光信號來生成一個(gè)三維模型。原理基于三角測量法。當(dāng)激光束打在物體表面上時(shí),它會被反射回來并通過鏡頭進(jìn)入相機(jī)。根據(jù)反射光線的角度和入射點(diǎn)與相機(jī)之間的距離,可以計(jì)算出物體表面的坐標(biāo)。通過不斷移動(dòng)激光束和相機(jī),可以得到整個(gè)物體表面的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù),從而生成一個(gè)完整的三維模型。光學(xué)輪廓儀具有許多優(yōu)點(diǎn)。首先,它可以非常精確地測量物體表面的形狀,可以達(dá)到亞毫米級別的精度。其次,它可以快速地測量大型物體的表面形狀,相...智能化驅(qū)使下,中圖儀器光學(xué)3D成像測量技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用
2023-04-21 3D成像技術(shù)實(shí)現(xiàn)了二維到三維的升級。智能化制造下,具有3D成像功能的機(jī)器視覺系統(tǒng)可以更快,更準(zhǔn)確地檢查生產(chǎn)現(xiàn)場的組件。其中表面形貌的3D測量,包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量,是微納結(jié)構(gòu)測量最為基礎(chǔ)和重要的項(xiàng)目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。運(yùn)用非接觸式測量技術(shù)的3D光學(xué)檢測儀器,大多是基于光學(xué)方法(干涉顯微法、自動(dòng)聚焦法、激光干涉法、光學(xué)顯微干涉法等),可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實(shí)現(xiàn)微納級測量,在微納米結(jié)構(gòu)檢測中有著重要意義。...關(guān)注公眾號,了解最新動(dòng)態(tài)