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除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，SuperViewW1白光干涉儀品牌具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

中圖白光干涉儀SuperViewW1利用光學(xué)干涉原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析。測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉顯微鏡也叫光學(xué)輪廓儀、光學(xué)3D表面輪廓儀、非接觸式粗糙度輪廓儀等，儀器分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。

SuperViewW1高精度白光干涉儀對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW1白光干涉測厚儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀性能參數(shù)Z向分辨率：0.1nm；Z向掃描范圍：10.3mm；XY水平位移臺：電動手動均可調(diào)節(jié)。有自動化功能：自動單區(qū)域測量、自動多區(qū)域測量、多區(qū)域定位自動搜索測量、自動拼接測量；防撞保護(hù)：軟件設(shè)置防撞、硬件傳感器防撞。