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中圖儀器3d光學輪廓儀檢測儀SuperViewW1以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1白光輪廓儀集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SJ5730-100精密輪廓測量儀是大曲面測量（軸承、人工關節(jié)、精密模具、齒輪、葉片）領域精細粗糙度測量的利器，為大曲面粗糙度測量提供了新的解決方案。該儀器具有12mm的粗糙度測量范圍，分辨率達到1nm，適合測量大曲面上的表面粗糙度，同時具備軸承輪廓度評價功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測量需求。

SuperView W1-Pro3d輪廓形貌掃描儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量?？筛采w8英寸及以下晶圓，定制版真空吸附盤，穩(wěn)定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設計，隔離地面震動與噪聲干擾。

中圖儀器粗糙度輪廓儀可測量各種精密機械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。廣泛應用于精密機械五金加工、汽車零部件、軸承、機床零部件、模具、光學零部件加工等行業(yè)。是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)建立工件表面輪廓的二維坐標，計算機通過修正算法對光柵數(shù)據(jù)進行修正，終還原出工件輪廓信息、粗糙度信息并以曲線圖顯示出來，通過軟件提供的分析工具可對輪廓、粗糙度進行各種參數(shù)分析。

SuperViewW1光學3D輪廓測量儀是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級測量的檢測儀器。只需要操作者裝好被測工件，在軟件里設好視場參數(shù)，把物鏡調節(jié)到被測工件表面，選擇自動聚焦后，儀器就會主動找干涉條紋開始掃描測量。然后自動生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質量的2D、3D參數(shù)，完成工件表面形貌一鍵測量。