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中圖儀器SuperViewW1白光三維輪廓測量儀由照明光源系統(tǒng)，光學成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣。

中圖儀器SuperViewW1輪廓尺寸測量儀器設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器SuperVieW3D表面粗糙度輪廓檢測儀基于白光干涉原理，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW白光表面3d輪廓儀的光學系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng)。通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維光學輪廓儀基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，能以3D非接觸方式對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

中圖儀器SuperViewW1光學超光滑微透鏡形貌輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1光學三維形貌輪廓測量儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW1全自動3D輪廓儀粗糙度表面形貌儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。