中圖國產(chǎn)激光干涉儀品牌SJ6000利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，其光波波長可以直接對米進行定義，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；

（6）中圖國產(chǎn)激光干涉儀品牌SJ6000支持手動或自動進行環(huán)境補償。

在機床加工領域的應用

1.測量機床導軌的直線度和平行度。

導軌是機床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導后續(xù)的優(yōu)化和調整。

2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。

機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時進行調整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。

機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求，從而為后續(xù)的機床調整和校準提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應用，激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關系，從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況，及時發(fā)現(xiàn)機床的故障和異常狀態(tài)，保證機床的穩(wěn)定性和可靠性。

對數(shù)控機床進行螺距誤差補償

激光干涉儀以光波為載體,利用激光作為長度基準,是高精度、高靈敏度的測量儀器。激光干涉儀不僅廣泛用于數(shù)控機床、激光切割機、光刻機等，在計量檢定領域也能大展身手。

在計量檢定領域的應用

1、測長機檢定

傳統(tǒng)的測長機示值誤差主要采用量塊進行校準，受環(huán)境因素影響較大，校準條件要求高，且量程大于1m的測長機需要分段校準，效率低，而使用激光干涉儀進行校準，不僅可以提高效率，還可通過環(huán)境補償單元對空氣溫度、壓力、濕度和材料溫度進行補償，提高校準精度。

2、三坐標測量機示值誤差測量

隨著三坐標測量機技術的更新和發(fā)展，使用傳統(tǒng)的量塊、球板等已經(jīng)難以滿足大型三坐標測量機的檢測要求，激光干涉儀測量準確度高，測量范圍大，測量數(shù)據(jù)豐富，適合測量三坐標各項幾何誤差。

3、位移傳感器檢定

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢,其特點是測量精度高、反應速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設計一個精密導軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比，位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與SJ6000激光干涉儀(標準)對定長位移進行測試對比,得出往復測試實驗結果。

4、影像儀定位精度測量

影像儀傳統(tǒng)檢測方法采用線紋尺比對法進行，存在著檢測精度低、測量系統(tǒng)誤差大、成因分析功能缺失、改善方向不精準、 檢測效率低下等問題。使用激光干涉儀可以對影像儀的定位誤差進行快速檢測，對測量數(shù)據(jù)進行運算分析，利用軟件生產(chǎn)補償文件快速實施二維平面多點位補償，可大大降低設備制造過程中的精度檢測難度、提升檢測效率及補償效率。

部分技術規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關內容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。