激光干涉原理

激光干涉儀

除了環(huán)境適應能力好，激光干涉儀還可以進行動態(tài)高速測量，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。中圖儀器研發(fā)生產SJ6000激光干涉儀量程精度高。

產品參數

測量分辨力：1nm

動態(tài)采集頻率：50KHz

預熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

SJ6000激光干涉儀量程精度

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

產品特點

SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體：

采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；

采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；

采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；

采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；

采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

應用領域

SJ6000激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應用于精密機械設備、精密檢測儀器、三坐標、機器人、3D打印設備、機床、自動化設備、線性位移平臺等領域的線性測量。

測量機床回轉軸精度

測量機床偏擺角度

數控機床精度校準

深圳中圖儀器堅持以技術創(chuàng)新為發(fā)展基礎，致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發(fā)、生產和銷售。未來，中圖儀器將繼續(xù)專注于精密測量技術的發(fā)展，知難而上、勇于創(chuàng)新！