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SJ6000導(dǎo)軌直線度激光干涉測(cè)量儀使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

SJ6000線性位移精度激光干涉測(cè)量儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量。

GTS空間坐標(biāo)姿態(tài)激光跟蹤測(cè)量儀具有精度高、測(cè)量范圍大、安裝簡單及操作方便等特點(diǎn)，與空間姿態(tài)探頭配合組成六自由度激光跟蹤儀，能夠根據(jù)合作目標(biāo)的精確空間姿態(tài)對(duì)被測(cè)工件的內(nèi)部特征、隱藏特征或曲面等復(fù)雜特征進(jìn)行快速、高精度的測(cè)量。

SJ6000機(jī)床導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測(cè)儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

GTS機(jī)器人運(yùn)動(dòng)位置激光跟蹤測(cè)量儀集激光干涉測(cè)距技術(shù)、光電檢測(cè)技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論于一體，能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測(cè)量問題。

GTS激光跟蹤儀能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測(cè)量問題。在制造中激光跟蹤儀測(cè)試機(jī)器人目標(biāo)定位性能。

SJ6000高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

中圖儀器0.05ppm穩(wěn)頻精度激光干涉儀SJ6000非接觸式、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，還可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。